上海：14纳米芯片规模量产，90纳米光刻机等实现突破

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来源：观察者网

14纳米先进工艺规模实现量产，90纳米光刻机、5纳米刻蚀机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等实现突破；全市集成电路产业规模达到2500亿元，约占全国25%，集聚重点企业超过1000家，吸引了全国40%的集成电路人才。
https://www.guancha.cn/economy/2022_09_15_658050.shtml